电容式加速度传感器的工作原理

　　电容式加速度传感器，即MEMS，是在微电子技术基础上发展起来的跨学科前沿研究领域。与传统传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适合批量生产、易于集成和智能化等特点。同时，微米级的特征尺寸使得传统机械传感器无法完成的一些功能成为可能。其中，MEMS加速度传感器广泛应用于各种需要运动的领域。

　　电容式加速度传感器具有精度高、温度敏感系数低、功耗低、动态范围宽、微机械结构优良等优点，已成为国内外研究的热点。因为它具有DC响应好、信噪比好、负载阻抗高、受磁场干扰小、易于自检、灵敏度高、温漂小等特点，在低频响应中可以响应静态或DC加速度，因为它应用广泛。

　　电容式加速度传感器的工作原理是利用电容作为检测接口，检测惯性力引起的惯性质量的微位移。质量块通过弹性微梁支撑连接到基底上，检测电容的一个极板一般设置在运动质量块上，另一个极板设置在固定基底上，可以通过静电力实现反馈闭环控制，显著提高传感器的性能。