电容式加速度传感器简介

      今天我们就来说一说电容式加速度传感器的简介。

      电容式加速度传感器它的构造基本原理如下图所显示，一个质量块固定不动在延展性梁的正中间，质量块的上内孔是一个主题活动电极，它与上固定不动电极构成一个电力电容器C1；质量块的下内孔也是一个主题活动电极，它与下固定不动电极构成另一个电力电容器C2。当被测物的震动造成两者之间固连的传感器底座震动时，质量块将因为惯性力而维持静止不动，因而上、下固定不动电极与质量块中间可能造成相对位移。这促使电容器C1、C2的值一个增大、另一个缩小，进而产生一个与加速度尺寸正比的差动保护输出数据信号。

       伴随着微机电工程技术性的发展趋势，现如今的电容式加速度传感器都广泛选用的MEMS技术性生产制造。MEMS变电容式加速度传感器的构造，它的全部光敏电阻器由粘在一起的三个单晶硅片组成。在其中上、下硅单晶组成2个固定不动电极，正中间的硅单晶根据有机化学离子注入产生由软性薄膜支撑点的具备刚度管理中心质量块的样子，薄膜的薄厚在于该加速度传感器的测量范围。此外，在薄膜上也有离子注入出的小圆孔，当薄膜随质量块健身运动时，气体流过小圆孔进而造成需要的阻尼系数。因为选用MEMS技术性获得了这类一体化的构造，它的可信性是非常高的。

  特性与运用场所

         电容式加速度传感器具备不错的低频特点且具备直流电回应，与其他种类的加速度传感器对比其敏感度高、自然环境适应能力好，尤其是受溫度的危害较为小；存在的不足为数据信号的键入与输出呈离散系统关联、测量范围比较有限、受电缆线的电容器危害很大；其实用性比不上压阻式加速度传感器，且成本费也比压阻式加速度传感器高得多。

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