振动加速度传感器的工作原理

　　振动加速度传感器主要安装在各种旋转机械设备(如汽轮机、压缩机、风机和泵等)的轴承盖上。振动加速度传感器的工作原理是什么？

　　1.压电式

　　压电式加速度传感器也叫压电加速度计。它也属于惯性传感器。

　　压电式加速度传感器的原理是利用压电陶瓷或应时晶体的压电效应。当加速度计振动时，质量施加在压电元件上的力也会改变。当测得的振动频率远低于加速度计的固有频率时，力的变化与测得的加速度成正比。

　　2.压阻式

　　压阻式加速度传感器基于shi界领xian的MEMS硅微加工技术，具有体积小、功耗低的特点，易于集成到各种模拟和数字电路中，广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。

　　3.电容式

　　电容式加速度传感器是一种基于变极距电容原理的电容式传感器。电容式加速度计是一种通用的加速度计。在某些领域是不可替代的，比如安全气囊，手机，移动设备。采用微机电系统(MEMS)技术，使其在大规模生产中具有经济性，从而保证更低的成本。

　　4.伺服式

　　伺服式加速度传感器是一个闭环测试系统，具有动态性能好、动态范围大、线性度好的特点。

　　工作原理:传感器的振动系统由“m-k”系统组成，与一般的加速度计相同，只是质量M连接了一个电磁线圈。当基座上有加速度输入时，质量偏离平衡位置。位移由位移传感器检ce，经伺服放大器放大，转换成电流输出。电流流过电磁线圈，电磁线圈在永磁体的磁场中产生电磁回复力，试图使质量在仪器外壳中保持在原来的平衡位置。

　　由于有反馈功能，抗干扰能力增强，测量精度提高，测量范围扩大。伺服加速度测量技术广泛应用于惯性导航和惯性制导系统，也用于高精度振动测量和校准。