电容式加速度传感器的应用

　　现代科学技术要求加速度传感器应用于许多领域，如军事工业、空间系统、科学测量等。需要使用体积小、重量轻、性能稳定的加速度传感器。传统加工方法制造的加速度传感器不能wan全满足这些要求，于是新兴的微加工技术制造的微加速度传感器应运而生。

　　这种传感器体积小，重量轻，功耗低，启动快，成本低，可靠性高，易于实现数字化和智能化。微机械结构精que可重复，易于集成，适合大批量生产，性价比很高，因此将在加速度传感器市场占据主导地位。

　　根据工作原理，加速度传感器可以分为几类:电容式加速度传感器；电阻式加速度传感器:压电式加速度传感器。根据不同工作场景的要求，应用相应的加速度计。这里先简单说一下电容式加速度传感器，其结构一般采用弹簧质量系统。当质量在加速度的作用下运动时，质量块与固定电极之间的间隙发生变化，进而改变电容值。与其他类型的加速度传感器相比，电容式加速度计具有灵敏度高、零频响、环境适应性好等特点，尤其是受温度影响较小。但缺点是信号的输入输出是非线性的，范围有限，受电缆电容的影响，而且电容传感器本身是高阻抗信号源，所以电容传感器的输出信号往往需要后续电路来改善。在实际应用中，电容式加速度传感器多用于低频测量，但通用性不如压电式加速度传感器，成本也远高于压电式加速度传感器。